创设前
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吴越地区东临大海，由于长江和东海的互相作用，潮汐影响较其他地区为大。遇大潮来临，则往往冲毁堤坝，民众认为这是楚霸王项羽的灵魂发怒所致，故称霸王潮[1]:9。在厭勝的影响下，此地多为汉代将领立庙，例如萧何庙、英布庙、彭王庙等。唐代设立华亭县後，始有城隍，遂以汉太祖大将紀信为城隍[2]。宋代为便于城隍巡境，遂於上海务以西一带建立庙宇，作为城隍行祠。蒙元至元二十八年（1291年）上海县设立，但蒙古人并无意敕封城隍，因此县内居民仍以祭拜纪信为城隍[1]。
除纪信外，相传自东吴末帝时起，就在南部的金山上设立了供奉汉代大司马大将军霍光的庙。宋宣和二年（1120年），赐封显忠庙，後逐渐累加称“金山忠烈昭应庙”。同时，上海一带也多有霍光行祠的建造[3]。[1]:14-15
敕封设庙
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清同治十年（1871）《上海县志》城隍庙图
明洪武二年（1369年）正月，明太祖下诏封京都及天下城隍神，县的城隍神敕封为鉴察司民城隍显佑伯，秩四品[4]。洪武三年六月，明太祖下詔因山川神靈均為天地造化，認為添加封號不合禮制，於是均撤除包括城隍在內的嶽、鎮、海、瀆的封號，上海的城隍因此僅稱“上海縣城隍之神”[5]。
永乐年间，上海知县张守约将位于县衙西北、方浜北岸的霍光行祠改建为上海縣城隍廟。地方官员每逢朔望在此拈香、宣讲乡约并祈晴祷雨[6]。
扩建
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明天顺年间，知县李纹在大殿前修建碑亭一座。嘉靖十四年（1535年）庙祝将原本狭隘的庙门改建为牌坊式大门，适逢新任上海知县冯彬到任按例谒庙，遂应庙祝之请，为牌坊题名“保障海隅”，并由永嘉县善于书写大字的幼童题写于上。万历三十一年（1603年）、三十四年（1606年）知县刘一爌、李继周分别对庙宇进行了重建[6]。
进入清朝起，逐渐将元末明初的上海文人秦裕伯奉为城隍，以替代原有的上海县城隍之神。清康熙二十二年（1683年）知县史彩修与住持杨兆麟修建鼓亭两座。雍正十三年（1735年）住持又募集资金重修。乾隆十二年（1747年）知县王侹重建被焚毁的寝宫。乾隆五十九年（1794）道会葛文英募资修建后楼。嘉庆三年（1798年）修缮大殿。道光十六年（1836）士绅又集资重修了被焚毁的西庑和戏楼[6]。
灾毁与重建
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1910年的上海城隍庙大殿与碑亭（已不存）
1842年吴淞战役後，英军於6月19日进占上海县城，并以城隍庙为驻地，占领五日[7]。1853年，刘丽川利用上海官员举行丁祭仪式，发动小刀会起义，并以城隍庙西园（今豫园）为其指挥地，前后占据共18个月[7]。清军破城後，双方在城内展开巷战，城隍庙及其西园又遭到不同程度的破坏。1860年，太平军预备进攻上海县城，清政府请外国军队参与协防，英法军队即驻扎於豫园，待其撤出後，城隍庙及西园已极为破败[7]。
因遭三次兵灾，城隍庙已破败不堪，至1865年，上海知县王宗濂倡捐修复城隍庙。1868年，苏松太道应宝时再度倡议募捐修缮庙宇[6]。经两次修缮後，城隍庙基本恢复旧貌。1893年，上海知县王承暄发起募捐，以维修头门、二门、辕门大殿、戏楼及鼓亭等。1909年，时任知县的李超琼又发起了重修大殿及城隍寝宫的募捐[7]。
民国11年（1922年）至民国13年（1924年）间，城隍庙遭遇三次火灾，尤其以民国13年中元节一次最为严重。由于城隍庙将在中元节当日举行例行的三巡会节日活动，但烛台却被人不幸打翻，结果火势迅速延烧，大殿等处全数焚毁[8]。为彻底解决这一问题，负责城隍庙日常事务的邑庙董事会的董事秦锡田、叶惠钧、黄金荣、杜月笙等一致决定将大殿由木质改建为钢筋水泥，但样式仍为传统式样[9]:159[8]。新大殿由公利打样公司设计，久记营造厂承建，造价为五万元。民国15年4月工程开工，至民国16年11月25日完全落成[1]:65。在此之前，邑庙董事会另於连云路爱多亚路（今延安东路）建新城隍庙，以供奉霍光神主。由此，上海城隍庙亦被称为“老城隍庙”[1]:62。
整顿、停办与恢复
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1930年6月30日起，城隍庙改由邑庙董事会雇佣道士担任住持的方式管理城隍庙[7][10]。1937年8月，淞沪会战爆发后，上海城隍庙作为难民接收点，待上海局势稳定后，难民逐渐撤离，城隍庙逐步恢复日常宗教活动[7]。
1949年5月以后，除大殿外，其余各殿均被关闭，但原有神像仍暂予保留。1956年起，上海市宗教局开始整治工作，撤销邑庙董事会，并废止自1930年起的包殿制。1966年4月，上海市宗教局、南市区人委会办公室、区宗教科宣布停止城隍庙的宗教活动[11]。文化大革命开始后，1966年8月，红卫兵将原封存的神像等宗教用品置于丽水路停车场一并焚毁。此后，各殿、庭院等处由上海市百货公司小商品批发部、豫园商城使用[12]。
1988年上海市人民政府通过决议拟将上海城隍庙归还上海市道教协会，并於1990年完成产权变更，成为全国首座回归道教的城隍庙[1]:188。1994年7月7日，为落实宗教政策成立以市道教协会会长陈莲笙道长为首，陈从周、胡道静、王汝刚、秦怡等23人为委员的上海城隍庙修复委员会。委员会根据当时情况，采用边修复边开放的方式进行维修。11月28日，豫园商城正式移交包括大殿、元辰殿、财神殿、慈航殿、寝宫和天井等处的庙产的使用权[7]。次年1月26日，城隍秦裕伯及夫人储氏塑像重新回到城隍庙。1月31日，城隍庙正式对外开放，恢复宗教活动[13]。1996年4月29日，修复工作基本结束，原修复委员会解散，成立管理委员会，以陈莲笙道长为主任[7]。2000年11月14日，陈莲笙道长升座正式成为恢复以来的第一任住持[14]。